簡要描述：日本SMC新品高真空元件對應300mm晶片 平行密封型門閥 XGTP 壽命長：300萬次（常溫時）發(fā)塵量：減少到1/5以下（與從前的產品相比）維護性提高 易于更換波紋管 可從頂端更換門組件（訂制規(guī)格）安全對策 采用機械式帶端鎖機構
產品型號：
所屬分類：SMC高真空原件
更新時間：2025-03-04
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日本SMC新品高真空元件
對應300mm晶片 平行密封型門閥 XGTP
壽命長：300萬次（常溫時）
發(fā)塵量：減少到1/5以下（與從前的產品相比）
維護性提高
易于更換波紋管
可從頂端更換門組件（訂制規(guī)格）
安全對策
采用機械式帶端鎖機構
日本SMC新品高真空元件
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